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朗藝首頁 行業規范 潔凈室 潔凈室標準規格說明(二) |
潔凈室標準規格說明(二)
在德國工業及醫學等之多數領域中,潔凈室是為相關產業界所重視和期望發展之技術,因此在1967年完成了德國的潔凈室規格,在德國規格中潔凈室等級之表示法與美國規格不同,其表示法是以4*10”的形式表示粒徑0.5um以上之粒子數,而以其中之指數n規定等級,如4*103 即表示等級為3,此等級與美國聯邦規格Class100想近似。表1-4為德國規格所容許之粒子數與美國、法國、近似等級之表示。 |
表1-4 德國規格表
等級 |
微塵粒徑(um) |
與別國等級比較 |
0.5 |
1 |
5 |
美國 |
法國 |
3 |
4*103 |
1*103 |
- |
100 |
4000 |
4 |
4*104 |
1*104 |
0.03*104 |
- |
- |
5 |
4*105 |
1*105 |
0.03*105 |
10000 |
400000 |
6 |
4*106 |
1*106 |
0.03*106 |
100000 |
4000000 |
表1-5為美國聯邦標準209D標準粒子之數目上限值(個/ft3)(以0.5u粒子為依準)。由于美國與日本之規格中所表示之單位分類不同,為讓使用人員有一快速之獲知二者之相近標準等級,以期運用于工作上,故有必要將二者之間做一潔凈度級別之換算,如表1-6
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表1-5 美國209D規定粒子數(上限值)
等級 |
Class1 |
Class10 |
Class100 |
Class1000 |
Class10,000 |
Class100,000 |
0.1 |
35(1,225) |
350(12,250 |
- |
- |
- |
- |
0.2 |
7.5(263) |
75(2,630) |
750(26,300) |
- |
- |
- |
0.3 |
3(105) |
30(1,050) |
300(10,500) |
- |
- |
- |
0.5 |
1(35) |
10(350) |
100(3,500) |
1000(35,000) |
10,000(350,000) |
100,000(3,500,000) |
5.0 |
- |
- |
- |
7 |
70 |
700 |
表1-6 美日潔凈度級別換算
日本 |
美國 |
級別3 |
Class 1 |
級別4 |
Class 10 |
級別5 |
Class 100 |
級別6 |
Class 1000 |
級別7 |
Class 10000 |
級別8 |
Class 100000 |
除了美國、日本、德國、之潔凈室標準外,世界上尚有英國、法國、澳洲及韓國、中國大陸之規格,表1-6即為世界各國潔凈度等級規格之比較。
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表1-6 世界各國潔凈度等級規格表
國名 |
美國 |
美國 |
日本 |
英國 |
德國 |
法國 |
澳洲 |
韓國 |
中國大陸 |
規格 |
FS209D |
FS209E |
JIS B 9920 |
BS 5295 |
VDI 2083 |
AFN 4410 |
AS 1386 |
KS |
QJ2214 |
年度 |
1988 |
1992 |
1989 |
1989 |
1990 |
1981 |
1989 |
1991 |
1991 |
基準粒子(um) |
0.5 |
0.5 |
0.1 |
0.5 |
1 |
0.5 |
0.5 |
0.3 |
0.1 0.5 |
單位 |
pcs/ft3 |
pcs/M3 |
pcs/M3 |
pcs/M3 |
pcs/M3 |
pcs/M3 |
pcs/M3 |
pcs/M3 |
pcs/M3 |
Class |
- |
- |
1 |
- |
- |
- |
- |
M1 |
0.1um~1 |
- |
M1 |
2 |
- |
0 |
- |
- |
M10 |
0.1um~5 |
1 |
M1.5 |
3 |
C |
1 |
- |
0.035 |
M100 |
0.1um~10 |
10 |
M2.5 |
4 |
D |
2 |
- |
0.35 |
M1000 |
1 |
100 |
M3.5 |
5 |
E or F |
3 |
4,000 |
3.5 |
M10000 |
100 |
1000 |
M4.5 |
6 |
G or H |
4 |
- |
35 |
M100,000 |
1,000 |
10,000 |
M5.5 |
7 |
I |
5 |
400,000 |
350 |
M1,000,000 |
10,000 |
100,000 |
M6.5 |
8 |
J |
6 |
4,000,000 |
3500 |
M10,000,000 |
100,000 |
- |
M7 |
- |
K |
7 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
L |
- |
- |
- |
- |
-
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